نانومترولوژی ابعادی یکی از حوزه های جدید در آزمایشگاه II BESSY مؤسسه مترولوژی آلمان )PTB )است. در این آزمایشگاه ضخامت نانولایه ها، توزیع و میانگین ابعاد نانوذرات تعیین میشود. این آزمایشگاه نانومترولوژی اخیرا اقدام به اندازه  گیری قطر نانوذرات از ۹ تا ۲۰۰نانومتر کرده است که از جنس های طلا، سیلیکا، اکسید آهن، التکس و پلیمر PMMA هستند. برای این کار از روش پراش اشعه ایکس زاویه کوچک )SAXs )به همراه تابش سینکوترون استفاده شده است و این گروه موفق به کسب عدم قطعیت یک درصد شده است.

پیش از این PTB از تابش سینکوترون تکفام در روش اشعه ایکس برای تعیین ابعاد نانوساختارها استفاده کرده است. برخلاف منبع تولید اشعه ایکس در روش XRD ،در این روش طول موج را میتوان با توجه به نمونه مورد نظر بهینه سازی کرد. برای تعیین ضخامت لایه های اکسیدی در نمونه سیلیکونی از طریق انعکاس سنجی اشعه ایکس، تابش در محدوده جذب های اکسیژن مورد استفاده قرار گرفته است تا کنتراست افزایش یابد. برای تعیین قطر نانوذرات موجود در یک سیال از طریق پراش اشعه ایکس، طول موج زیر ۵.۰ نانومتر انتخاب میشود. چنین تابشی به راحتی میتواند درون دیواره های نازک نمونه نفوذ کند. بنابراین طول موج دقیق با استفاده از انعکاس از بلور سیلیکا محاسبه میشود. زاویه پراش میتواند با استفاده از اندازه گیری طول تعیین شود که این کار با شاخص‌های جابه جایی انجام میشود. برای نانوذرات کروی جهت تعیین میانگین ابعاد از این روش استفاده شد. البته ذرات تقریبا یکنواخت بوده و ابعاد بسیار نزدیک به هم داشتند. محققان با استفاده از SAXs نه تنها میانگین ابعاد را تعیین کردند بلکه پهنای توزیع را در نمودار بدست آوردند. اگر در روش پراش اشعه ایکس با زاویه کوچک )SAXs )از برخورد خراشی )Incidence grazing )استفاده شود میتوان با آن سطح نانوذرات و نانو ساختارها را مشخصه یابی کرد.