ابعاد تراشه های کامپیوتری در ادوات الکترونیکی در حال کاهش است و ابزارهای اندازه گیری رایج نظیر میکروسکوپ های مجهز به نور مرئی برای ارزیابی این تراشه ها مناسب نیست. برای بازرسی و کنترل اجزاء نانومقیاس این تراشه ها باید از میکروسکوپ نیروی اتمی ابعاد بحرانی )AFM-CD )استفاده میشود که دارای یک نوک بسیار کوچک در حد ۱۰ نانومتر است. این میکروسکوپ با عدم قطعیت کمتر از یک نانومتر ابزاری مناسب برای صنعت نیمه هادی است. اما علمکرد صحیح و دقت این میکروسکوپ به این بستگی دارد که آیا نوک میکروسکوپ کالیبره هست یا نه؟ برای حل این مشکل محققان موفق به ارائه نمونه مرجعی شدند که قادر به کالیبراسیون نوک میکروسکوپ با عدم قطعیت کمتر از یک نانومتر شدند. زمانی که نوک میکروسکوپ در حال روبش سطح است اگر پهنای آن از ۱۰ نانومتر بیشتر باشد عدم قطعیت فرایند افزایش مییابد. این گروه تحقیقاتی در طول ۱۰ تا ۱۵ سال گذشته روی کالیبراسیون نوک میکروسکوپ AFM-CD کار کرده اند. اولین استاندارد را در این حوزه موسسه ملی فناوری و استاندارد آمریکا )NIST )در سال ۲۰۰۵ ارائه کرد. با این استاندارد میتوان عدم قطعیت را به ۱ نانومتر رساند. دیسکوسان از محققان این پروژه میگوید: » ما در NIST میکروسکوپ AFM-CD نداشتیم. این میکروسکوپ چند میلیون دلار قیمت داشت. شرکت سیماتک)SEMATECH )دارای یک میکروسکوپ AFM بود اما کسی برای استفاده از آن وجود نداشت بنابراین همکاری بین ما شکل گرفت.« در طول این پروژه محققان از AFM-CD و میکروسکوپ الکترونی عبوری )TEM )استفاده کردند. در واقع این دو دستگاه برای کالیبراسیون نمونه ها مورد استفاده قرار گرفت. هر یک از این دو نوع میکروسکوپ اطلاعات متفاوتی را به محققان ارائه کرد که با کنار هم گذاشتن این داده ها امکان تولید نمونه استاندارد فراهم شد. نمونه مرجع تولید شده ۱ تا ۲ سانتیمتر و از جنس سیلیکون بوده که روی یک ویفر ۲۰۰ میلیمتری قرار دارد.